Azotek krzemu
| |||||||||||||||||||||||||||||
Ogólne informacje | |||||||||||||||||||||||||||||
Wzór sumaryczny | Si3N4 | ||||||||||||||||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Masa molowa | 140,28 g/mol | ||||||||||||||||||||||||||||
Wygląd | szary bezwonny proszek | ||||||||||||||||||||||||||||
Identyfikacja | |||||||||||||||||||||||||||||
Numer CAS | 12033-89-5 | ||||||||||||||||||||||||||||
PubChem | 3084099 | ||||||||||||||||||||||||||||
| |||||||||||||||||||||||||||||
| |||||||||||||||||||||||||||||
| |||||||||||||||||||||||||||||
Podobne związki | |||||||||||||||||||||||||||||
Podobne związki | ditlenek krzemu, węglik krzemu | ||||||||||||||||||||||||||||
Jeżeli nie podano inaczej, dane dotyczą stanu standardowego (25 °C, 1000 hPa) | |||||||||||||||||||||||||||||
|
Azotek krzemu (Si3N4) – nieorganiczny związek chemiczny, azotek pierwiastka krzemu na IV stopniu utlenienia.
Właściwości
Azotek krzemu ma stosunkowo niską gęstość, bardzo dużą odporność termiczną i chemiczną oraz twardość.
Zastosowania
Elektronika
Azotek krzemu jest wykorzystywany jako izolator i bariera chemiczna – przewyższa on w tym zastosowaniu SiO2. Stanowi dobrą barierę dla czynników, przed którymi nie chroni SiO2, na przykład jonów Na+ i H+ (mających szkodliwy wpływ na stabilność przyrządów półprzewodnikowych).
Najczęściej wytwarza się warstwę Si3N4 metodami chemicznymi: przez rozpylanie katodowe lub osadzanie z fazy lotnej. Do wad należą: trudności związane z obróbką fotochemiczną tych warstw i gorsze właściwości elektrofizyczne obszaru granicznego -Si niż SiO2.
Ceramika
Łożyska z ceramiki Si3N4 są stosowane w dyskach twardych.
Azotek krzemu jest składnikiem sialonu.
Przypisy
Bibliografia
- WiesławW. Marciniak WiesławW., Przyrządy półprzewodnikowe i układy scalone, Warszawa: WNT, 1987, s. 71, ISBN 83-204-0925-X, OCLC 749876743 .
- Britannica: science/reaction-bonded-silicon-nitride
- БРЭ: 2109283